Greene Tweed的ONX® 600是一种基于含氟聚合物的碳纤维增强复合材料，具有高强度和高纯度，可在高温下承受强酸的化学侵蚀。
ONX® 600可用于晶圆清洗，能耐受SPM（过氧硫酸，食人鱼溶液）、SC1（过氧氢氧化铵）、SC2（过氧盐酸）和稀HF清洗溶液。
ONX® 600适用于精密组件，在高达200°C（392°F）的温度条件下对湿法工艺是稳定的，并且其纯度足够用于必须接触晶圆边缘的应用。此外，由于ONX® 600的硬度低于硅胶，所以减少了边缘损伤和颗粒物的产生。最后，ONX® 600具有导电性，可消除旋转喷雾动作引起的静电荷，从而保护了半导体器件的精密特性。
ONX® 600比其他含氟聚合物材料具有更高的性能和更低的购置成本。通过优异的机械性能和始终如一的品质，使设备性能和可靠性大大提高，对于OEM设备制造商严苛的技术参数要求是理想的选择。
可将其用于直径长达20英寸的组件
| 原厂资料 | 物性表(英文) | |||
| 产品特性 | 导电抗静电耐化学性耐酸填充增强 | |||
| 颜色形状 | 黑色 | |||
| 物理性能 | 值/单位(登录后可见) | 测试标准 | 测试条件 |
|---|---|---|---|
密度/比重 | *** g/cm³ | ASTM D792 | |
| 机械性能 | 值/单位(登录后可见) | 测试标准 | 测试条件 |
拉伸模量 | *** Mpa | ASTM D638 | 200°C, x-y plane |
拉伸模量 | *** Mpa | ASTM D638 | 24°C, x-y plane |
拉伸强度 | |||
断裂(brk) | *** Mpa | ASTM D638 | 200°C, x-y plane |
断裂(brk) | *** Mpa | ASTM D638 | 24°C, x-y plane |
拉伸延伸率 | |||
断裂(brk) | *** % | ASTM D638 | 200°C, x-y plane |
断裂(brk) | *** % | ASTM D638 | 24°C, x-y plane |
弯曲模量 | *** Mpa | ASTM D790 | 200°C, x-y plane |
弯曲模量 | *** Mpa | ASTM D790 | 24°C, x-y plane |
弯曲强度 | |||
断裂(brk) | *** Mpa | ASTM D790 | 200°C, x-y plane |
断裂(brk) | *** Mpa | ASTM D790 | 24°C, x-y plane |
弯曲应变 | |||
断裂(brk) | *** % | ASTM D 790 | 200°C, x-y plane |
断裂(brk) | *** % | ASTM D 790 | 24°C, x-y plane |
抗压强度 | *** Mpa | ASTM D 695 | 24°C, x-y plane |
抗压强度 | *** Mpa | ASTM D 695 | 24°C, x-y plane |
抗压强度 | *** Mpa | ASTM D 695 | 24°C, z plane |
抗压强度 | *** Mpa | ASTM D 695 | 24°C, z plane |
| 硬度性能 | 值/单位(登录后可见) | 测试标准 | 测试条件 |
邵氏硬度 D | *** D | ASTM D 2240 | |
| 热学性能 | 值/单位(登录后可见) | 测试标准 | 测试条件 |
线性膨胀系数(CLTE) | |||
- | *** E-6 m/m/℃ | ASTM D E831 | 25°C to 140°C, x-y plane |
- | *** E-6 m/m/℃ | ASTM D E831 | 25°C to 140°C, z plane |
- | *** E-6 m/m/℃ | ASTM D E831 | 25°C to 200°C, x-y plane |
- | *** E-6 m/m/℃ | ASTM D E831 | 25°C to 200°C, z plane |
- | *** E-6 m/m/℃ | ASTM D E831 | 25°C to 80°C, x-y plane |
- | *** E-6 m/m/℃ | ASTM D E831 | 25°C to 80°C, z plane |
连续使用温度 | |||
长期 | *** °C | Internal | |
| 电学性能 | 值/单位(登录后可见) | 测试标准 | 测试条件 |
体积电阻率 | *** Ohm-cm | JIS K7194 |
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